ЦЕНТР ЕСТЕСТВЕННО-НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ИНСТИТУТА ОБЩЕЙ ФИЗИКИ им.А.М.ПРОХОРОВА РАН

ЦЕНТР ЕСТЕСТВЕННО-НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

ФИЦ "Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН"

Эксимерный лазер CL-7100

(ЛАБОРАТОРИЯ ЛАЗЕРНОЙ ОПТИКИ ПОВЕРХНОСТИ)

Применение

Дополнительно cистема установки оборудована трехкоординатным позиционером NewPort M-ILS200PP (точность позиционирования - 500 нм).

Спецификация

	ArF	KrF	XeCl
Длина волны*	193 нм	248 нм	308 нм
Конструкция	металлокерамика
Предыонизация	искровая
Номинальная энергия импульса	250 мДж	400 мДж	300 мДж
Средняя мощность CL 7020 CL 7050 CL 7100	5 Вт 10 Вт 20 Вт	8 Вт 20 Вт 35 Вт	6 Вт 15 Вт 25 Вт
Макс. частота CL 7020 CL 7050 CL 7100	20 Гц 50 Гц 100 Гц
Длительность импульса¹	17 нс	20 нс	20 нс
Стабильность энергии импульсов	ср.квадр.откл. < 2%
Размер пучка¹	6 x 20 мм	6 x 21 мм	7 x 22 мм
Расходимость пучка¹	1.5 x 4.5 мрад (стабильный резонатор)
Синхронизация	< 2 нс
Сервис-интервал окон, имп.²	50 млн	100 млн	200 млн
Габариты, (вес)	1350д x 375ш x 710в мм (170 кг)
Охлаждение CL 7020 CL 7050 CL 7100	воздушное водяное < 1 литр/мин водяное < 3 литр/мин
Питание CL 7020 CL 7050 CL 7100 (трехфазное)	220В / 50Гц, 10А, не более 1500 ВА 220В / 50Гц, 10А, не более 1800 ВА 380/220В, 50Гц, 10А, не более 3500 ВА
Газ	1 баллон со смесью
Управление	RS 232, DOS/Windows

* - возможна работа на длине волны 157 нм

¹ - FW HM

² - лазер обеспечивает номинальную энергию