Ионный сканирующий микроскоп Strata FIB 205.

Ионный микроскоп с галлиевым жидкометаллическим источником ионов.

Ускоряющее напряжение от 5 кВ до 20 кВ
Разрешение 7 нм
Ток пучка от 1 пА до 20 нА
Плотность тока до 100 А/см2.

Система оснащена 5-и осевым моторизованным столиком 50х50 мм, газовыми инжекционными системами для напыления проводников и диэлектриков, а также для травления образцов.