Четырехкамерная сверхвысоковакуумная установка для проведения технологических операций на поверхности твердого тела и анализа поверхности при адсорбции, десорбции, химических реакциях, воздействий ионного, электронного и лазерного пучков.

Включает в себя:

• камеру загрузки
• аналитическую камеру
• камеру СТМ
• камеру подготовки.

Имеет в своем составе электронный спектрометр OPC 103 типа "цилиндрическое зеркало", квадрупольный масс-спектрометр QM17 с диапазоном масс 1-300, трехсеточный дифрактометр медленных электронов, сканирующий туннельный микроскоп с комнатной температурой образца GPI-300, пьезокерамические натекатели газов СНА-1, СНА-2, 2 ионные пушки CI10, системы охлаждения и нагрева образцов и СТМ-игл в диапазоне температур 110-1100 К.

Установка cовмещена с оптическим спектрометром ДФС-24 для проведения оптических измерений (комбинационное рассеяние света, фотолюминесценция) in situ.

Экспериментальные методы исследования

Структура поверхности

СТМ (сканирующая туннельная микроскопия). Позволяет получать изображения поверхности с атомным разрешением и проводить спектральную идентификацию атомов в температурном интервале 5-300 К.

ДМЭ (LEED) (Дифракция медленных электронов - Low Energy Electron Diffraction) Классический метод определения структуры поверхности по анализу дифракционных изображений. Используется для характеристики структур на поверхности монокристаллов

СПТСХПЭ (EELFS) (Спектроскопия протяженной тонкой структуры характеристических потерь электронов - Extended Energy Loss Fine Structure). Метод основан на анализе протяженной тонкой структуры в спектрах потерь электронов, вызванной интерференцией при выходе электрона из атома твердого тела. Позволяет определять локальную структуру вокруг выделенного типа атомов.

Спектроскопия поверхности

ЭОС (AES) (Электронная оже-спектроскопия - Auger Electron Spectroscopy). Стандартное измерение элементного состава поверхности. Применение факторного анализа для обработки оже-спектров позволяет получать информацию о химическом составе поверхности.

ТДМС (TDS) (Термодесорбционная масс-спектрометрия - Thermal Desorption Spectroscopy). Классический метод изучения поверхностных химических реакций. Позволяет определять состав и энергетику термодесорбированных соединений.