Устройство предназначено для исследования полевой электронной эмиссии с нанометровым пространственным разрешением. СТЭМ обеспечивает измерение 4-х параметров поверхности образцов:
- рельеф поверхности;
- распределение полевой электронной эмиссии;
- распределение работы выхода электронов;
- локальная электропроводность.
Технические характеристики:
Электрическое напряжение – 0.1 – 10 В.
Эмиссионный ток - 0,5-5 нА.
Диапазон точного перемещения образца – до 20 мкм.
Диапазон грубых перемещений образца – до 20 мм.
Площадь скана – до 2×2 мкм2.
Количество измерительных точек (пиксел) на скане - 128×128.