Интерференционный микроскоп Zygo NewView 5000 (или интерферометр белого света, англ. white lite interferometer).

Оптический прибор, позволяющий исследовать рельеф поверхности образцов.

Латеральное разрешение: до 0.45 мкм
Вертикальное: до 0.1 нм
Размеры области одиночного сканирования варьируются от 36x27 мкм² до 28,8x21,6 мм²
Режим сшивки позволяет сканировать области до ~100x100 мм²