Технические характеристики

• Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) Ntegra Spectra M (производитель НТ-МДТ): топография поверхности (латеральное разрешение 10нм, разрешение вдоль оптической оси ~0,1нм, рабочая область сканирования - 140х140мкм), полуконтактный и контактный режимы сканирования, электрическая зондовая литография (растровая, векторная), диапазон напряжения подаваемого на зонд 10В, методы СЗМ по диагностике м еханических и электрических свойств поверхности различных материалов (Кельвин микроскопия, режим фазового контраста). Твердотельный лазер LCS-DTL-382QT на кристаллe Nd:YAG (рабочие длины волн 1064, 532нм) длительность лазерного импульса 10нс (мода ТМ00), частота следования импульсов 100-2500Гц, максимальная энергия в импульсе 30мкДж. Комбинированный режим работы СЗМ с импульсным лазерным источником: излучение лазера заводится через оптический тракт СЗМ Ntegra spectra M, с возможностью фокусировки излучения в пятно диаметром ~1мкм (по уровню 1/e2) на поверхности образца (при этом рабочий диапазон плотностей энергии лазерного излучения у поверхности образца =0,01-10 Дж/см2), возможны режимы точечного воздействия (по заданным точкам в пределах рабочей области сканирования СЗМ) и сканирования лазерным пучком поверхности с in-situ СЗМ диагностикой облученной области.