УЧРЕЖДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК ИНСТИТУТА ОБЩЕЙ ФИЗИКИ им.А.М.ПРОХОРОВА РАН
Юрков Артур Николаевич
Зав. лабораторией,
к.т.н.
Тел.(499)503-87-22, 132-68-68
Корп.5 комн.307
artur.yurkov@mail.ru
Химия кремния, тонких пленок металлов