
|
Система ASEC-03 предназначена для исследования электрических и фотоэлектрических свойств и определения электрофизических параметров полупроводниковых и диэлектрических материалов, а также гомо и гетероструктур на их основе.
Система может быть использована как для проведения комплексных научных исследований, так и для тестовой диагностики разнообразных материалов и устройств.
- Q-DLTS - Зарядовая релаксационная изотермическая спектроскопия глубоких уровней с электрическим или оптическим возбуждением.
- I-V - Динамические и квазистатические вольт- амперные характеристики.
- С-V - Вольт-емкостные характеристики с линейным и импульсным сканированием
- Vph(t), Iph(t) - Кинетика фотонапряжения и фототока при различной интенсивности импульсного освещения
Определяемые параметры
- Энергия активации, сечение захвата и плотность глубоких уровней (электрически активных дефектов), а также их распределение по объему образца.
- Спектр и концентрация поверхностных состояний.
- Ток утечки, насыщения и энергия активации проводимости. - Диэлектрическая проницаемость и напряжение пробоя тонких пленок
- Изгиб зон (поверхностный потенциал) на поверхности и границах раздела гомо и гетероструктур основные характеристики
- Чувствительность:
токовая, I – 1пA,
зарядовая, DQ – 5х10-16 Кулон.
- Концентрационная чувствительность Nt/N – 5х10-7 (Nt – концентрация глубоких уровней, N – концентрация свободных носителей).
- Диапазон изменения временного (скоростного) окна, tm – 2х10-6 - 200 сек.
- Диапазон изменения температур, T – 80-520 К
|